加速度传感器的组成部分

*** 次数：1999998 已用完，请联系开发者***

芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造...本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器,由X、Y、Z三个独立的感测单元构成,X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作;Z轴感测单元由外延多... 再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅,最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层,释放MEMS结构,由于不需要昂贵...

航天科技:6月10日接受机构调研,招商信诺、国投证券参与构成。答:公司主要从事航天应用、汽车电子、物联网三大业务板块。公司航天应用产品主要以惯性导航加速度传感器、精密制造、测试测控设... 巩固了加速度计产品在载人航天工程领域的主导地位。公司汽车电子主要分境内和境外两部分。境内汽车电子业务主要以商用车为主,借助多年...

∪＾∪

国网青岛供电公司申请输电线舞动数据采集专利,提高输电线舞动数据...通过加速度和角速度传感器、主控单元、NB‑IOT模块和RFID模块构成低功耗的舞动远传系统,通过NB‑IOT模块将监测数据进行远传,通过RFID模块将监测数据本地传输。对于获取的加速度舞动数据和角度舞动数据利用卡尔滤波法进行融合,降低了传感器所采集数据的误差,提高后续对...

∩△∩